华宇平台主管554258_奥趋光电推出UVC-LED芯片衬底质

　　突如其来的新冠肺炎疫情席卷全球，成为了全世界数十亿人民配合面临的难题。不仅给世界各国造成了严重的生命威胁和伟大的财产损失，更对人类社会流动产生了深远影响。据哈佛大学公共卫生学院揭晓的Science文章展望，新冠病毒将有可能陪同人类到2025年;而世界卫生组织总干事谭德塞也曾示意，新型冠状病毒对全球的影响有可能连续数十年。

　　新型冠状病毒的大盛行危急使得杀菌消毒手艺受到了亘古未有的重视。现在人类生活环境中已知的所有细菌、病毒等微生物均可通过差别剂量的深紫外线(UVC)辐射被杀灭。紫外线消毒杀菌的原理是行使高能量的紫外光打断病毒DNA或者RNA的链条，损坏其分子结构，造成生长性细胞或再生性细胞殒命，从而在短时间内起到对细菌和病毒的灭活作用。传统化学杀菌消毒产物存在平安、环保和杀菌效率等方面的局限，而传统的紫外汞灯具有寿命短、效率低、需要预热等瑕玷，且汞对人类社会和环境有伟大的负面影响。自2020年起，限制汞使用和排放的国际《水俣条约》正式生效，传统的汞灯将被限制、克制生产和使用。与此同时，深紫外LED手艺及产物受到了越来越多的关注和青睐，不仅快速高效(一样平常在几秒内完成)、即开即亮，而且尺寸小、功耗低、异常环保。因此深紫外LED也逐步成为了杀菌消毒(包罗新型冠状病毒)领域有用的新手艺和解决方案，从而催生了2020年深紫外UVC杀菌消毒市场需求大发作。深紫外LED在医疗装备、白色家电(如空调系统、冰箱、洗衣机、消毒柜、洗碗机、净水器等)、工业水处理装备、污水处理设施、食物加工与包装、生化探测、聚合物固化及工业光催化等诸多领域有广漠应用远景。据展望，深紫外LED替换传统汞灯在杀菌消毒领域的应用类似于白光LED替换传统光源在照明领域的应用，将形成一个伟大的万亿级新兴产业。

　　进一步降低UVC-LED芯片制造成本、提升光电转化效率是海内外UVC-LED芯片制造商亟待解决的主要手艺难题。只管AlN单晶衬底是UVC-LED芯片的最佳衬底质料，但由于AlN单晶生长极其难题，现在供应量异常有限、成本高昂，因此传统的UVC-LED手艺主要接纳MOCVD工艺在蓝宝石衬底上生长AlN薄膜。由于AlN层与蓝宝石衬底晶格失配较大，需在蓝宝石衬底或图形化蓝宝石衬底(PSS)上通过大幅增添AlN薄膜生长厚度(1-5μm)来保证AlN薄膜质量，从而增添了芯片制造成本。奥趋光电通过自有专利工艺手艺制备的蓝宝石基AlN薄膜可有用规避AlN层与蓝宝石衬底晶格失配较大这一先天矛盾，200nm的AlN膜厚即可跨越传统MOCVD工艺生长的薄膜质量，从而大大降低了UVC-LED芯片制造的成本和时间周期。

　　奥趋光电蓝宝石基AlN薄膜模板产物第三方检测参数

　　通过与海内众多UVC-LED芯片巨头及着名企业的历久深入互助，奥趋光电推出的蓝宝石基AlN薄膜模板已完成多轮流片和工艺迭代优化，流片的各项参数均取得优异效果，其中流片统计良率跨越91%，充分说明基于该质料的芯片已具备大规模量产条件。

　　某行业巨头基于奥趋光电蓝宝石基AlN薄膜模板制备的UVC-LED芯片

　　基于奥趋光电蓝宝石基AlN薄膜质料的UVC-LED芯片参数曲线

　　基于奥趋光电蓝宝石基AlN薄膜质料的UVC-LED芯片第三方检测参数，以及与市场主流芯片产物(量产公司A/B/C/D产物，产物参数来自其网站公然数据)参数对比

　　奥趋光电首席手艺官王琦琨博士示意，作为全球首家2/4/6英寸高性能蓝宝石基AlN薄膜模板大批量制造商，我们异常感谢行业巨头、着名UVC-LED企业及科研院所对奥趋光电的大力支持。奥趋光电蓝宝石基AlN薄膜模板的优异显示背后是我们自主研发的具有颠覆性的、大批量及稳固可靠的2/4/6英寸蓝宝石基AlN薄膜专利工艺。信赖随着该工艺以及后续4/6英寸产物的大规模推广应用，UVC-LED芯片的制造成本有望大幅度降低。

　　除高质量蓝宝石基AlN薄膜大批量解决方案外，王琦琨博士还稀奇先容了奥趋光电面向大功率、高端UVC-LED芯片的AlN单晶衬底解决方案。由于西方国家对AlN单晶衬底的禁运，现在大功率UVC-LED芯片及其产业链主要被西欧及日本企业垄断，而奥趋光电乐成研制并正分阶段实行小批量生产的AlN单晶衬底产物。2019年4月受诺贝尔奖获得者天野浩教授为组委会主席的LEDIA-2019国际会议约请，奥趋光电在日本横滨正式公布了全球最大、直径达60mm的AlN单晶衬底样片，第三方检测解释其要害性能参数(如紫外透光性、拉曼半高宽等)处于全球领先水平。基于推出的产物样品，奥趋光电研发团队在晶体结晶质量、批量工艺固化等方面经由了长时间的攻关，现在已经实现1英寸及以下尺寸产物的小批量生产，预计2021年1季度末可完成2英寸AlN单晶衬底的工艺固化。现在奥趋光电正计划建设一条全球最大、年产量达2-3万片2英寸AlN单晶晶圆生产线，以打破西欧对该战略质料的垄断，知足我国高新手艺产业对AlN单晶衬底的大量需求。除大功率高端UVC-LED 芯片外，AlN单晶衬底还在紫外激光器、紫外传感器、高频/高功率器件、紫外探测、紫外预警和保密通讯等领域有广泛应用远景。

　　关于奥趋光电：

　　奥趋光电是由海归博士团队、半导体领域顶尖手艺专家领衔，于2016年5月建立的高新手艺、创新型企业，总部位于浙江省杭州市。奥趋光电专注于第三代/第四代超宽禁带半导体氮化铝晶圆衬底质料、蓝宝石基/硅基/碳化硅基氮化铝/氮化铝钪薄膜模板、全自动氮化铝PVT气相沉积炉及其相关产物的研发、制造与销售，焦点产物被列入《中国制造2025》要害战略新质料与装备目录，是制备深紫外LED芯片、5G射频前端滤波器、MEMS压电传感器等各种紫外发光器件、高温/高频射频器件、高频/高功率电子及激光器件的理想衬底/压电质料。

　　奥趋光电经由多年的高强度研发投入，乐成开发出全球最大，直径60mm的氮化铝单晶及晶圆，也是全球首家蓝宝石基氮化铝薄膜模板大批量制造商。现在可向客户提供1英寸/2英寸高质量氮化铝单晶衬底、2/4/6英寸蓝宝石基/硅基/碳化硅基氮化铝、氮化铝钪薄膜模板、氮化铝单晶气相沉积炉及热处理装备等产物，同时向客户及互助伙伴提供从装备设计、热场设计、热场模拟仿真手艺开发、咨询及生长工艺优化到晶圆制程等全环节的完整工艺解决方案与专业手艺服务。停止2020年7月，共申请/授权国际、海内专利36项，是全球范围内本领域专利数目最多的团队之一，被公认为本领域全球手艺的领导者。

相关推荐

海尔智家股市被看好，增进逻辑令人深思

小牛电动：智能化是两轮电动车主要发展趋势

天药股份旗下药品被列入WHO推荐采购清单